Вакуумно-плазменное оборудование, чистые комнаты и АСУ ТП

Партнеры

9939.jpg
Безымянный.png

Вакуумное оборудование - вакуумные насосы, датчики, вакуумные камеры, технологическое и вакуумно-плазменное оборудование плазмохимических процессов, производства полупроводников и разработки микроэлектроники, создания специальных покрытий, атомно-слоевого осаждения, магнетронного напыления,чистые комнаты и пр.​​

Вакуумно-плазменные процессы, оборудование и технологии являются ключевыми элементами при производстве электронной компонентной базы (ЭКБ) и микроэлектроники, особенно на современном этапе развития отрасли в условиях миниатюризации интегральных схем и полупроводниковых приборов, увеличения надежности, быстродействия и информационной емкости.

Вакуумно-плазменные и вакуумные технологии и процессы также играют важнейшую роль в производстве изделий оптической промышленности, нанесении специальных покрытий в авиастроении, химической и космической промышленности, медицины.

С учетом сложности физико-химических процессов, протекающих в реальных производственных условиях, многообразия материалов и режимов обработки, а так жесткого контроля иностранными вендорами и ограничения доступа к технологиям, трансферу и локализации их в РФ само вакуумно-плазменное оборудование, проектирование систем и производств, их дальнейшее техническое обслуживание является критически значимым для развития различных отраслей промышленности.

Группа «Электронинторг» обеспечивает полный цикл сопровождения работ по этому направлению для своих заказчиков, обеспечивая как проектирование, производство, поставка и запуск собственных АСУ ТП и оборудования, так и поступательно обеспечивая технологическую независимость уже имеющегося парка техники на промышленных предприятиях РФ:

  • технологическое оборудование для нанесения оптических покрытий методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения, позволяющее создавать узко- и широкополосные фильтры, прецизионные многополосовые фильтры, УФ и ИК фильтры, фильтры видимого диапазона и отрезающие фильтры; просветляющие покрытия и прозрачные токопроводящие покрытия, светоделители и оптические зеркала;

  • оборудование для контроля оптических параметров, в том числе in situ контроля для технологического оборудования;

  • технологическое оборудование для производства интегральных схем и твердотельных приборов (кристаллы ЭКБ): опто- и микроэлектроники, ВЧ ИС, МЭМС, датчиков, дисплеев, фотовольтаики для кристальных участков производства ЭКБ: фотолитография, плазмохимические процессы травления и осаждения, ионно-лучевое распыление и травление, металлизация, термообработка и быстрый отжиг, отмывка и очистка подложек, активация поверхности, межоперационный технологический контроль;

  • испытательное и измерительное вакуумное оборудование (камеры, датчики, контроллеры, течеискатели, газоанализаторы);

  • вакуумные откачные системы, вакуумные насосы (турбомолекулярные, криогенные, винтовые, спиральные, Рутса, диффузионные, пластинчато-роторные и пр.), вакуумные клапаны и затворы, фитинг, системы центрального вакуума;

  • автоматизированные системы управления технологическими процессами вакуумных установок, системы питания;

  • общепромышленные газовые системы и трубопроводы: азот, кислород, водород; технологическое газоснабжение: специальные технологические газы, в том числе коррозионные и опасные для специальных процессов; системы газоподачи и утилизации, элементы газовых систем.

 

Дополнительно могут выполняться работы по разработке конструкторской документации и выполнению глубокой модернизации и капитального ремонта установок вакуумного напыления и плазмохимической обработки как российского (советского) производства: УВН-74П-3 , УРМ3.279.50, УВН-71П-3, 08ПХО-100Т-001, так и зарубежного производства: INTEGRITY 100 производства США, ВАК-761 производства Швейцарии.

 

АСУ ТП: По требованию заказчика могут быть выполнены работы по созданию системы автоматизации технологических процессов (АСУТП) на основе человеко-машинного интерфейса, обеспечивающих задание автоматически исполняемой последовательности технологических процессов, гибкое управление и контроль параметров технологического процесса. АСУТП построена на базе промышленной системы, имеющей современную клиент-серверную архитектуру; позволяет хранить и обрабатывать данные в СУБД, осуществлять обмен данными через сервер. Система поддерживает автоматический, ручной, сервисный режимы работы и обеспечивает многоуровневый доступ на с правами: администратора, наладчика, технолога, оператора.

 

Могут быть выполнены работы в том числе по:

  1. поставкам и пуско-наладке вакуумного реактивного и изотропного плазмохимического травления с интегрированной системой лазерного интерференционного анализа для вскрытия кристаллов ЭКБ, анализа топологии, поиска дефектов, приведших к отказу ЭКБ.

  2. Разработкам высоковакуумных систем для экспериментальных стендов для исследования точечного разряда в неоднородном потоке газа, поддерживаемого мощным терагерцовым излучением

  3. поставкам и вводу в эксплуатацию промышленных установок быстрого вакуумного термического отжига в водороде и форминг-газе, вакуумных систем плазмохимической очистки поверхности в кислороде и аргоне.

Наши специалисты помогут вам подобрать комплексные решения в области микроэлектроники для технологических операций транзисторного цикла (FEOL), цикла формирования металлизации (BEOL) и разделения пластин на кристаллы:

  • Плазмо-химическое осаждение и травление (RIE, PE, ICP, DSE, PECVD, HDP-CVD)

  • Вакуумное напыление (магнетронное напыление, термическое испарение, электронно-лучевое напыление)

  • Атомно-слоевое осаждение (ALD, PEALD)

  • Гидромеханической обработки пластин и фотошаблонов

  • Очистки УФ-излучением и озоном (UVOH)

  • Нанесение, проявление и сушка фоторезиста

  • Контактная и проекционная фотолитография

  • Контроль критических размеров и совмещения

  • Метрология пластин и анализ пленок (спектрофотометры, эллипсометры, профилометры, микроскопы)

  • Термические процессы (FLA, RTP, RTA, RTO)

  • Ионная имплантация

  • Оснастка для работы с полупроводниковыми пластинами (кассеты, боксы для хранения и транспортировки, ориентаторы, перегрузчики пластин, пинцеты)

Измерительное оборудование:

  • Спектральные и лазерные эллипсометры для лабораторных и промышленных задач

  • Системы измерения толщин пленок, в том числе с функцией «Map mapping»

  • Оптические микроскопы, ИК микроскопы

  • Сканирующие электронные микроскопы (SEM)

Пробоподготовка для SEM/TEM микроскопии:

  • Настольные установки напыления

Производство архитектурного стекла, органических светодиодов (OLED), дисплеев, фотоэлектрических систем:

  • Промышленные системы вакуумного напыления на гибкие подложки, крупногабаритное стекло, листы из нержавеющей стали, рулонные материалы

Нанесение декоративных (золочение, серебрение), изностостойких, алмазоподобных покрытий на мелкие и крупногабаритные изделия:

  • Вакуумно-дуговое напыление (Cathode Arc Evaporator)

  • Атомно-слоевое осаждение

Вспомогательное оборудование:

  • Шкафы сухого хранения

  • Мишени для магнетронного напыления

Восстановление оборудования (refurbished) ведущих мировых производителей для работы с пластинами 100-300 мм:

  • Степперы Canon (проекционная фотолитография)

  • KLA-Tencor (вся линейка систем для метрологии полупроводниковых пластин: микро и макро дефектность, рельеф, поверхностное сопротивление, толщина слоя и др.)

  • Applied Materials, Oxford, Plasma-Therm, SPTS (процессы RIE, PECVD)

  • EVG, SUS (установки совмещения/бондинга)

  • Semitool (жидкостная обработка)

Восстановление оборудования проводится либо самим производителем, либо специализирующейся компанией, поэтому конечный пользователь получает гарантии и сервис как при покупке нового оборудования.

Восстановленное оборудование – это:

  • возможность для малобюджетных организаций приобрести качественную и современную систему по более низкой цене.

  • возможность для крупных организаций приобрести большее количество единиц оборудования или направить сэкономленные средства на развитие новых технологий.

Обеспечение производства, элементы инженерной инфраструктуры:

  • Скрубберы (утилизация опасных газов)

  • Газовые шкафы, газовые панели, услуги по подключению к газам (обвязка)

  • Сжатый воздух, компрессоры

  • Чиллеры (теплообменник)

  • Источники бесперебойного питания

  • Вакуумные насосы

  • ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

    • Вакуумные насосы

    • Вакуумные датчики

    • Вакуумные камеры

    • Вакуумная арматура

    • Компоненты вакуумных систем

    • Вакуумные фитинги

    • Вводы движения

  • ПРОМЫШЛЕННОЕ ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

    • Водокольцевые насосы

    • Винтовые насосы

    • Насосы Рутса

    • Плунжерные насосы

  • ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

    • Измерение краевого угла смачивания

    • Измерение толщины тонких пленок

    • Центрифуги для работы с фоторезистом

    • Оптические профилометры

    • Плазменная обработка поверхности

    • Атомно-слоевое осаждение

    • Плазмохимическое осаждение

    • Плазменное травление

    • Быстрые термические процессы

    • Вакуумное напыление

    • Настольные установки напыления

    • Жидкостная обработка

    • Фотолитография

    • Шкафы сухого хранения

    • Испытательное оборудование

    • Сканирующие электронные микроскопы